Вакуумные системы для ростовых печей

Разработана для ростовых печей по выращиванию алюмоксидных кристаллов. Обеспечивает давление вакуума до 10-4 Па. Включает в себя вакуумное соединительное колено с водоохлаждаемым теплоотсекателем, масляный пластинчатороторный насос, диффузионный (паромасляный) насос, вакуумную соединительную арматуру а также вакуумные датчики для измерения вакуума. Имеет несколько модификаций в зависимости от производительности, с ручным а также с электро-пневматическим управлением запорно-вакуумной арматурой, системы с интегрированной системой напуска инертного газа в рабочую камеру. За период с 2006 по 2015 годы произведено и поставлено потребителям около 500 таких систем различных модификаций.

Портфолио